多晶矽還原（yuán）爐體及鍾（zhōng）罩幹式清理係（xì）統

一、係統概（gài）述
 
多（duō）晶矽還（hái）原爐體及鍾罩幹式清理係（xì）統適（shì）用矽烷法多晶（jīng）矽生產工藝（yì），用於（yú）還原車間反應釜中矽汙染物附著力不大的工況條件下無汙染幹（gàn）式清洗。清洗（xǐ）時利用上下移（yí）動和旋轉機構帶（dài）動春水堂官方网站壓氣體噴吹以及特（tè）殊旋轉刷組合機構近距離對反（fǎn）應釜表麵進行噴吹和接觸式（shì）清掃達到清洗（xǐ）的目的。通過（guò）清洗旋轉調速機（jī）構（gòu）可滿足（zú）各工況（kuàng）的（de）要求。清洗（xǐ）的（de）同時采用特殊除塵淨化（huà）器一次性進行除（chú）塵淨化（huà）。

二、係統特點

1、裝置（zhì）為移動單元式結構；

2、淨（jìng）化後（hòu）的空氣可達到10萬級的淨化精度可完全在室內排放；

3、采用全封閉幹式的清洗方式確保對環境不出現二（èr）次汙染；

4、電氣設計按隔爆的各項要求執行、 設備設有靜電導出（chū）裝置；

5、控（kòng）製方式可為全自動或（huò）手動控（kòng）製；

6、運行總功率小，噪聲低。
 
三、清掃工藝

反應釜吊裝至清洗台上（shàng）→定位→連接→啟動（dòng）淨化器→啟動旋轉（zhuǎn）→上下移動機構→春水堂官方网站壓氣體沿（yán）壁噴吹→旋轉刷至上而下接觸移動清（qīng）掃→淨化氣體置換→反應釜吊（diào）起→檢查。

四、設備組成

主要由清洗平台、氣（qì）體（tǐ）噴吹裝（zhuāng）置、吸塵輸送管道、控製閥門、動力機構、清洗機構、各管道快速接頭、除塵淨化器、電氣控製係統等組成。

主要部件采用進口零部件，確保運行可靠穩定、使用周期長。操作維修簡單。